半导体行业主要用水在什么环节多?用超纯水主要能解决什么问题?
在半导体生产中,超纯水可以应用于晶圆冲洗,化学品稀释,化学机械研磨,洁净室环境的加湿源等场合,超纯水的品质与半导体的良品率直接相关,随着半导体元器件尺寸缩小与精细度上升,超纯水水质技术要求也在不断上升。
在超纯水生产过程中,只要微粒子、电阻率以及TOC以及气泡中一个指标出现略微差异,就会使半导体元器件生产的合格率下降,君浩环保超纯水设备可以有效解决超纯水清洗芯片中存在的问题,更好的提升芯片的良品率。该设备可连续稳定的生产高纯度的超纯水,无需树脂再生而停机。